2020年8月21日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微半导体”）发布公告称，拟对睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海睿励”）进行投资，金额为1375万元，投资完成后中微半导体持股上海睿励股权比例约为10.41%。
资料显示，上海睿励是国内集成电路工艺检测设备供应商，目前拥有的主要产品包含光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。其自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片上达到64层的检测能力。
目前，上海睿励的产品已成功进入世界领先芯片客户3D闪存芯片生产线，并取得7台次重复订单，是目前进入该国际领先芯片生产企业唯一的国产集成电路设备产品。
在此之前，通过投资国内薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司，中微半导体在集成电路薄膜设备领域进行了布局，中微半导体指出，此次投资上海睿励，是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤，将进一步形成产业链协同效应。
