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离子注入机

打破国外垄断！国产高能离子注入机重大突破

据新华社报道，由中国电子科技集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达国际主流先进水平。据悉，离子注入机是芯片制造中至关重要

2020-07-01
半导体材料离子注入机
集成电路装备再破零国产离子注入机登陆大产线

6月18日，从电科装备旗下烁科中科信公司传来喜讯，公司研发的12英寸中束流离子注入机顺利发往某集成电路大产线，这台由客户直接采购的设备如期交付，标志着公司国产离子注入机市

2020-06-19
离子注入机封装测试
万业企业离子注入机启动12英寸芯片制造和存储器工厂认证

6月16日，万业企业对上交所就2019年年度报告问询函进行了回复，进一步说明公司向集成电路领域转型的实施情况及产品进展等内容。公告显示，为提高离子注入机设备的市场竞争力，凯

2020-06-17
离子注入机半导体材料存储器
凯世通国产自主高能离子注入机关键项目进入调试阶段

万业企业8月28日公布的半年报告显示，全资子公司凯世通研发国产自主高能离子注入机关键项目已进入实际调试阶段。

2019-08-28
材料设备离子注入机

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