近期大基金再现活跃身影，继入股精测电子子公司、参与兴森科技新建项目后，日前再次出手投资，这次瞄准的是集成电路领域真空干泵设备。

中科仪与大基金等达成投资意向

10月14日，新三板企业中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”）发布公告，中科仪与国家集成电路产业投资基金股份有限公司（以下简称“大基金”）、宿迁浑璞五期集成电路产业基金（有限合伙）（以下简称“浑璞投资”）和国科科仪控股有限公司（以下简称“国科科仪”）达成战略投资意向，拟于近期签订战略投资协议。

根据协议，大基金、浑璞投资和国科科仪就中科仪真空干泵产业化升级等战略投资事宜达成意向，投资金额分别为不超过人民币1.4亿元、7000万元、5000万元，投资方式包含但不限于受让老股、认购新股等。具体的投资安排以将来签署的股份认购协议或与公司股东签署的股权转让协议为准。

大基金相信大家均已非常熟悉，其作为国家级战略性投资基金，首要目的是落实《国家集成电路产业发展推进纲要》，完成国家支持集成电路产业发展这一战略性任务。大基金首期基金已投资完毕，前不久大基透露二期基金的投资布局重点在集成电路装备材料领域，9月初大基金才入股了精测电子旗下专注于半导体测试设备的子公司。

至于另外两家投资者，浑璞投资成立于2019年9月，其私募基金管理人霍尔果斯浑璞股权投资管理有限公司专注于半导体产业链投资，目前已经投资沈阳拓荆等3家集成电路装备企业；国科科仪是中科仪控股股东中国科学院控股有限公司全资子公司，致力于科学仪器设备及核心零部件领域科技创新和产业化发展。

中科仪公告提示称，这次签订的《战略投资合作框架协议》仅为框架性协议，合作形式、股 权合作方及交易价格等均未确定，这次交易正式条款将以最终签署的交易文件为准，能否达成存在较大不确定性。

助力真空干泵产业化升级

资料显示，中科仪是一家专业从事真空仪器装备、真空获得设备研制生产并服务于集成电路产业及科研领域的高新技术企业，其前身中国科学院沈阳科学仪器研制中心创建于1958年。其控股股东、实际控制人及其一致行动人中国科学院控股有限公司是经国务院批准设立的首家中央级事业单位经营性国有资产管理公司。

中科仪在公告中指出，其获得国家重大专项支持的真空干泵已经在中芯国际、长江存储、华力微电、北方华创等集成电路企业产业化推广，打破了一直以来由国外厂家垄断的局面。有消息称，目前中科仪是国内唯一一家在集成电路领域替代进口的真空干泵生产制造企业。

据了解，在集成电路生产线种类众多的整机装备中，70%左右都需要在真空的工艺环境生产组装。真空干泵及真空阀门是关键的洁净真空子系统，其作用是获得、维持与控制集成电路装备整机洁净真空运行环境，在生产线中应用普遍、市场需求巨大。

今年8月，中科仪发布股票发行预案，拟非公开定向发行股票，预计募集资金不超过3亿元，要用于补充流动资金、新一代高效节能真空干泵研发、建立干泵产业化基地、技术服务和维修中心建设。

中科仪未在公告中提及此次即将签订的战略投资协议是否与上述募资事项有关，其表示本协议对公司的业务独立性不构成影响，公司主要业务不存在因履行本协议而对合作方形成依赖的可能性。

但无论如何，大基金、浑璞投资等战略投资者的关注及加入，将有望助力中科仪真空干泵进一步产业化，加速国产真空干泵发展升级。