据盛美半导体官微消息，2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行，盛美半导体设备（上海）股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技。
图片来源：盛美半导体
企查查资料显示，芯物科技成立于2017年09月，其股东包括上海新微技术研发中心有限公司、上海市嘉定区集体经济联合社、上海国际汽车城（集团）有限公司、中电海康集团有限公司、华立科技股份有限公司以及格科微、晶方科技、士兰微等。
据此前媒体报道，2018年7月，国家智能传感器创新中心启动建设，由上海新微、中电海康、格科微电子等14家单位共同发起筹建，芯物科技负责经营落地，通过关键共性工艺技术的研发，建设研发平台、检测技术平台、设计服务平台、工程服务平台等，促进传感器产业链协同发展。
盛美半导体新闻稿中显示，国家智能传感器创新中心负责人在致辞时介绍，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台超过80%的设备均采用国产设备，为国产装备提供验证平台，加速传感器产业链国产化，实现自主可控。
据介绍，盛美半导体本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备，该设备采用单片腔体对晶圆正背面依工序清洗，可进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小，产能高，稳定性强，多种清洗方式灵活可选，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。
