随着全球芯片需求量的持续增长及对产品质量精益求精的追求,对半导体检测设备的需求量迅速攀升。在半导体设计、晶圆制造和封装等三大流程中,每一道工序均需借助半导体检测设备对晶圆和芯片质量进行严格检测,及时剔除不合格品。转塔式分选机是一种各工位模块围绕中心的直驱电机旋转运行的检测设备,芯片通过转塔式分选机主转盘的转动被运送至各工位,直到芯片完成所有的检测步骤。由于转塔式分选机能够全自动完成器件的电参数测试、自动快速上料、标识检测、分类甄选储存、激光打印标识、标识检测、外形尺寸检测等工作,因此在半导体检测环节发挥着不可或缺的作用,为半导体生产提供至关重要的保障。
为了保证半导体元器件在各工作台之间高效、精确、稳定、安全的传输,转塔式分选机对运动控制系统有着近乎苛刻的要求。行动元依托其独有的全新一代工业工程化平台,快速响应客户需求,利用先进算法从众多运动控制部件型号中迅速筛选出最能满足客户需求的智能驱动器、音圈电机或伺服电机、力传感器等部件,并高效匹配和验证出“最优解”的智能运动控制集成方案,极大缩短了从方案设计、产品选型到测试等工程化过程的时间,从而帮助客户提升面市效率、提高市场综合竞争力。
以此平台化方式用算法匹配而形成的智能运动控制集成方案,在设计、性能、易用性等各个方面均表现突出,可精准满足不同类型半导体分选机在各种场景下的综合要求。在设计方面,行动元转塔式分选机智能运动控制集成方案体积小巧、方便集成;性能方面,在独特控制算法加持下,电流采样分辨率最高可达16bit,力控精度达±0.1克,并在高速、高精度电流采样优势的同时实现了较高的闭环控制带宽;在易用性方面,多段模式功能可同时支持多套工艺参数的存储和方便调用,大大提高换线效率;此外,软着陆功能和碰撞检测功能,可以有效保护娇贵的半导体元器件,降低加工过程中的损耗,提高成品率。
行动元转塔式分选机智能运动控制集成方案,只是行动元基于其全新一代工业工程化平台所打造的诸多行业应用的一个缩影。目前,基于该平台所打造的智能运动控制集成方案已稳定应用于半导体、3C、协作机器人、医疗机器人、AGV、电动工具、新能源等多个领域。在新工业革命和技术革命的推动下,行动元全新一代工业工程化平台也在高效演进和完善,运用全新的技术范式根本性重构需求、设计、选型、开发、测试、验证及运营等工程过程,从而极大降低开发成本、提升产品面市效率,并由此构建起一套全新的工业生态体系,推进工业全流程的革新和提速,创造人所不及的非凡价值。
