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里程碑！中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova第100台反应腔交付
第100腔Primo nanova®刻蚀设备的顺利交付，是公司ICP刻蚀产品业务发展新的里程碑。
2021-06-10
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中微公司
中微公司：正进行高产出的ICP刻蚀设备的研发
公司正在进行下一代产品的技术研发，以满足5纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3DNAND芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。
2021-06-02
中微公司
刻蚀设备
中微中标长江存储9台刻蚀设备大单
中微中标长江存储 9 台刻蚀设备订单（2019 年中微全年中标长江存储 13 台）。
2020-01-08
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